■魔鏡検査
裏面に板厚模様がついた薄い金属円板は、鏡面に研磨したあとそれに平行光を照射するとその反射像に裏面の模様が現れるという不思議な現象を示したので、それに因んで魔鏡と称されてきた。その現象は、研磨圧力が付加すると板厚模様に従って撓んだ状態で研磨され、僅かな凹凸を残し、平行光反射光が強調された明暗像を示したものと解明されている。シリコンウエハの大きなピッチのうねりを検出する手段として平行光反射像によるこの検査法が提案された。

■磨き皿

プラテン（金属皿、金属プレート）に鏡面研磨パッドなどを貼り付けたものの総称。

■目切（めぎり）

湿式のラップ定盤の表面にラップ剤の溜めや切り屑の逃げ場のための溝を網目状に切ることを指す、加工現場用語。

■メディア

バレル研磨に用いる研磨資材。工作物とともにバレル容器に入れ、工作物の間に介在する形で加工を行う。金属、天然研磨石、人造研磨石、有機質メディアなど種々ある。