用語集

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■ハイドレーションポリシング 
■ハイドロプレーンポリシング
■8の字ラッピング  
■バックラッピング  
■バニシ仕上げ  
■バフ  
■バフ研磨  
■バフ研磨機
バフ研磨剤  
■バフレース
■ばらバフ  
■バレル研磨  
■バレル研磨機  
■半乾式ラッピング  
■ハンドラッピング
■非晶質化  
■ピッチ  
■微粉  
■非油脂性棒状バフ研磨剤  
■4ウェイ両面研磨盤  
■不織布タイプ研磨パッド  
■縁だれ  
■フラップホイール  
■プラテン  
■プラナリゼーション  
■プレストンの法則  
■フロートポリシング  
■分級  
■分散  
■ヘアライン  
■ベイルビー層  
■ベルト研磨  
■ベルトサンダ  
■ペレット  
■ベンガラ
■ホーニング  
■ホーン  
■ポリシ剤   
■ポリシャ  
■ポリシング
■ボンドテール  

は

ハイドレーションポリシング
高温水蒸気雰囲気下において、水和反応により工作物表面に生じた水和膜を工具の機械的擦過により除去し、加工変質層のない仕上げ面を得る鏡面研磨法。

ハイドロプレーンポリシング

回転する研磨工具面に工作物を非接触の状態に吊り下げ、両者間に入るように加工液を供給し、あたかも動圧浮上したようにして機械的接触を避けて高品質仕上げを狙った化学研磨法。

■8の字ラッピング

工作物がラップ面上で8の字を描くように等速運動させ、工具面の異常摩耗を避けた均一摩耗により、工具面精度を維持しつつ高精度に研磨する方法。
バックラッピング
デバイス加工を終えたシリコンウエハ0.1〜0.2mm程度までラッピングで薄くするウエハ裏面加工。

バニシ仕上げ

硬質の球や円筒工具によって金属工作物の表面粗さの凹凸を押しつぶし、平滑な鏡面に仕上げる方法。バニシング。

バフ

バフ研磨用の工具。布、皮など柔軟な材料をバフ研磨機に装着できるように構成した研磨用具。目的、用途に応じて多くの種類がある。

バフ研磨

回転するバフに工作物を押し当て、バフに保持された砥粒により工作物表面を機械的に加工し、所要の仕上げ面を得る加工法。工作物が大きい場合には、作業者が研磨機を手持ちで工作物に押し当てて加工を行う。

バフ研磨機

回転軸端にバフを装着し、高速回転させて加工する研磨機械。手動機、専用的な半自動機、大量生産用のトランスファー形の自動機などがある。

バフ研磨剤

珪石微粉、アルミナ、トリポリ、酸化クロム、酸化鉄などの砥粒をステアリン酸、牛脂、パラフィン、金属石けん、界面活性剤などの媒体に配合したもの。バフ面に押し当てて塗りつける固形(棒状)バフ研磨剤と、スプレーガンなどで噴射塗布する液状バフ研磨剤に大別される。そのほかに、媒体組成を全く異にする艶消し仕上げ(サテンフィニッシュ)を目的とした非油脂性棒状バフ研磨剤がある。

バフレース

バフ研磨機。

ばらバフ

円形の綿布を18〜20枚程度重ね合わせ、中心部の軸孔部分だけを縫ったバフ。外周部の摩耗の程度を均一化するため、各布片の織り目の方向がずれるようにしてある。当たりが最も柔らかく、仕上げ研磨に適している。

■バレル研磨  

バレル容器に工作物、メディア、コンパウンド、水を入れ、バレルに回転運動や振動を与えて研磨する加工法。回転形バレル、振動形バレル、遠心流動形バレルなどがある。
バレル研磨機

バレル研磨に用いる機械の総称。バレルは鉄製で耐食性、耐摩耗性の観点から、内面はゴム、プラスティックなどで内張りしてある。

半乾式ラッピング

通常の湿式ラッピングのように研磨剤を連続的に供給せず、細かい砥粒と研磨液を混合してペースト状にしたものを薄く塗ったラップを用いる研磨法。湿式研磨法より加工能率は低いが、乾式ラッピングに近い表面性状の仕上げ面が得られる。

ハンドラッピング

手磨き。

ひ

非晶質化

単結晶や多結晶を加工した場合に加工変質層が残る。研磨した多結晶金属材料の加工変質層は、表面近傍に塑性流動によるベイルビー層が形成されていて、表面に近いほど結晶粒が微細となり、最外層は非晶質化している。

ピッチ
ピッチはガラスなどのポリシング用の磨き皿(ポリシャ)材料として、ニュートンの時代から最近まで使用されてきた。アスファルト(石油系)、タールピッチ(石炭系)、ウッドピッチ(木材系)があり、高温状態で空気を吹き込んで酸化を進めて変形を押えたブローンアスファルトもある。

微粉

JIS 6111で定められた研磨材粒度のうち、♯240〜8000のものを指す。粗粒(#8〜220)は篩い分けで、微粉は分級で製造され、生産と管理の方法が異なるという事情による。

非油脂性棒状バフ研磨剤

砥粒、水溶性接着剤(にかわ、その他)と水を主成分とし、筒状の密封容器に封入されたバフ研磨剤。溶融アルミナ、炭化珪素などの微細砥粒を用い、サテンフィニッシュ(つや消し仕上げ)を主目的とする。

ふ

4ウェイ両面研磨盤

上下工具定盤、内歯歯車、太陽歯車と工作物保持キャリヤから構成される両面研磨機である。上下工具定盤は互いに逆方向に回転し、キャリヤは内歯歯車と太陽歯車によって回転する。従って、上下工具定盤の2方向の運動、工作物の自転、公転の合計4運動であることからこの名称をつけた。工作物への負荷が少ないので、薄物加工に適している。

不織布タイプ研磨パッド

羊毛フェルトを始め、繊維を単に絡ませてシート状にした研磨布を指す。最近では、羊毛よりも耐熱性、耐磨耗性の優れるポリエステル繊維のフェルトにポリウレタンを適度に含浸させた多孔性の研磨布も現れ、シリコン基板の一次研磨用に使用して研磨速度と平面度で好結果を得ている。

縁だれ
ラッピングやポリシングにおいて、工作物の外周が中央部分よりも余分に加工されて外周から内部に数mmにわたって丸くだれてしまう現象。
■フラップホイール
短冊状の多数の研磨布片をフラップと称し、それを放射状に並べ、軸やフランジに取付けた回転研磨工具。柔軟性に富み、木製品の塗装面研磨、金属材料のさび取りやバリ取りなどに利用される。
■プラテン
ポリシングパッドを貼り付ける研磨皿を指す。また、ベルト研磨の所定の研磨圧を生じさせる用具として、研磨ベルトの裏面にあってバックアップするプレートもこれに該当する。
■プラナリゼーション
超LSIデバイスの製造において、最終的な配線回路の超高密度・三次元化構造を実現するため、デバイスプロセスで生じた0.5〜1μm程度の凹凸をリソグラフィ技術の焦点深度に見合うところまで平坦にすることを指す。次世代LSI製造のため、層間絶縁膜や配線金属膜のプラナリゼーションCMP(Chemical & Mechanical Polishing)法が提案され、今では専用の研磨装置が市販されている。
■プレストンの法則
Prestonが1927年に天体望遠鏡の主鏡の研磨機設計の論文で、フェルトポリシングにおいては研磨量が工作物と工具の相対速度、圧力、時間に比例することを述べた。これは全てのポリシングに成立するものではないが、研磨の理論的扱いなどで経験則として利用される。
■フロートポリシング
螺旋溝をもつ錫定盤の表面をダイヤモンド工具により超精密鏡面切削し、平面工作物がこの定盤の回転に伴い研磨剤で動圧浮上した状態で研磨を行う。この場合、研磨剤層でキャピテーションが発生して研磨剤中の砥粒が工作物をアタックし、加工変質層のない超平滑鏡面が仕上がる非接触研磨法。
■分級
種々の粒径が混ざった砥粒から、規格を満たす一定の粒径分布を持つものを得るための操作。古くは篩(ふるい)を用いた。一般的な湿式分級は、水中における球状粒子の沈降速度が粒子径の二乗に比例するというストークスの法則に基づいて行われている。
■分散
液中における粒子の凝集状態を解放すること。微粒子の分級や粒度の測定において分散は重要な問題となる。
へ
■ヘアライン
製品の美観を目的として、研磨によりつけた長い筋目。
■ベイルビー層
加工変質層の最外部に生じる非晶質層。
■ベルト研磨
高速で走行する研磨ベルトに工作物を押し当てて研磨する方法。ベルトと工作物の接触状態により、@コンタクトホイール方式 Aプラテン方式 Bフリーベルト方式の3種類に分けられる。
■ベルトサンダ
木工用のベルト研磨機。
■ペレット
ダイヤモンドなどの砥粒をレジンや金属粉などのボンド剤で固着した薄い円板状の小片砥石。このペレット複数個を定盤などに接着して研磨工具にする。
■ベンガラ
酸化鉄。赤色の粉末であり、古くはガラスのポリシングに用いられた。
ほ
■ホーニング
各種ホーニングの総称であるが、最も多く使用される内面ホーニングを指す場合もある。複数個の微粒砥石を一定圧で加工面に押し付け、回転と往復運動を与えて砥石研磨を行う。寸法・形状精度や表面粗さを能率的に改善できる。
■ホーン
ホーニングにおいて砥石を保持して回転と往復運動をする工具。砥石はホーンの溝に収納され、油圧、空気圧、ネジ、バネにより拡張され加工面に押付ける構造をもつ。
■ポリシ剤
ポリシング用の研磨剤。化学作用を付加することにより、効率的で高い鏡面性を得る目的の製品もある。
■ポリシャ
ポリシングパッド。鏡面研磨用の工具。鏡面研磨装置全体を指す場合もある。
■ポリシング
ポリシャあるいはポリシングパッドと称される軟質工具を用いる遊離砥粒方式の鏡面研磨法の総称。
加工変質層の少ない鏡面仕上げを目的とし、ラッピングよりも微細な砥粒を用いる。
砥粒としては、ダイヤモンド、炭化珪素、アルミナなどの微粉のほかに、酸化珪素、酸化セリウム、ジルコニア、酸化クロムなどの親水性の酸化物系砥粒をよく用いる。
■ボンドテール 
メタルボンドのダイヤモンド砥石のドレッシングを行った場合、砥粒の後方に結合剤が尾を引くように残ったものを指す。

 独立行政法人 産業技術総合研究所