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PVD・CVD概論
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成膜法(PVD)
成膜法(PVD)について、アニメーション動画を用いて説明します。
PVD法
真空蒸着
抵抗加熱型真空蒸着
電子ビーム蒸着
フラッシュ蒸着
イオンプレーティング
高周波励起型イオンプレーティング
活性化反応性蒸着
スパッタリング
直流(DC)スパッタリング
高周波(RF)スパッタリング
平板型マグネトロンスパッタリング
デュアルイオンビームスパッタリング
分子線エピタキシー(MBE)
パルスレーザデポジション
動画が見られない方は、フラッシュプレーヤーを下記のホームページにてダウンロードしてください。
http://get.adobe.com/jp/flashplayer/?Lang=Japanese