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真空蒸着は高真空雰囲気の中で、蒸着材料を抵抗体に入れて通電加熱して蒸発させます。
蒸発源の上部に設置した基板に蒸発材料が堆積して薄膜を形成します。
蒸発源の形状は、バウケット型、ボート型、ヘアピン型、るつぼ型などがあります。蒸発源の材料は、タングステン、タンタル、モリブデンのような高融点金属が用いられます。蒸発材料と蒸着材料と合金をつくらない物質を選定することが必要です。
蒸発材料の蒸気圧は、蒸発材料の蒸気温度において真空室内の圧力よりも十分低くないといけません。アルミニウムなどは蒸発源の金属との反応から合金を形成しやすく、できるだけ低い温度で蒸発させることが必要です。 |
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