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PVD・CVD概論
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成膜法(CVD)
成膜法(CVD)について、アニメーション動画を用いて説明します。
CVD法
熱CVD
プラズマCVD (PECVD)
有機金属気相堆積法 (MOCVD)
クロライドCVD
光 (化学反応) CVD
レーザCVD
原子層成長法 (ALE)
動画が見られない方は、フラッシュプレーヤーを下記のホームページにてダウンロードしてください。
http://get.adobe.com/jp/flashplayer/?Lang=Japanese