TOP >> PVD・CVD概論 >> 真空ポンプ

概論目次へ

	真空ポンプ 真空ポンプについて、アニメーション動画を用いて説明します。 ポンプの種類 圧力範囲 油回転ポンプ(回転翼型) 1×10-1 Pa〜1×105 Pa 油回転ポンプ(揺動ピストン型) 1 Pa〜1×105 Pa 油拡散ポンプ 1×10-4 Pa〜1 Pa メカニカルブースターポンプ 5×10-2 Pa〜1×103 Pa ターボ分子ポンプ 1×10-6 Pa〜1×10-2 Pa クライオポンプ 1×10-6 Pa〜1×10-1 Pa

動画が見られない方は、フラッシュプレーヤーを下記のホームページにてダウンロードしてください。
http://get.adobe.com/jp/flashplayer/?Lang=Japanese