油拡散ポンプは、熱した油をジェット状に下から吹き付けることにより、周りに存在する気体粒子をはじきとばし、その後水冷された壁に接触すると油が液化して下に落ちる、というサイクルを繰り返して真空にするポンプです。
単独では大気を引くことができないので、油回転ポンプなどと併用して、1〜10^-6 Paの真空に到達することができます。