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クライオポンプの原理
クライオポンプは極低温のパネルに気体分子を吸着させて排気する方式の溜め込み式の真空ポンプです。
80K(-193℃)の極低温パネルには主に水蒸気、炭酸ガスなどのガスを吸着し20K(-253℃)の極低温パネルには酸素、窒素、アルゴン、メタンなどのガスを吸着排気します。
水素やヘリウムなどは20Kパネルの裏に張り付けたチャーコールの微細な穴の中に吸着排気されます。
水に大きな排気速度を持ちオイルフリーのため半導体･電子部品用の成膜装置などに多く使われています。