このページはJavaScriptを使用しています。ブラウザのJavaScript機能をオンにしてご覧ください。
PVD・CVDデータベース
TOP
>>
PVD・CVD概論
>>
評価法
>>
構造特性
>> 膜厚測定 >> 重量測定
概論目次へ
重量測定
前処理をした後の基板と薄膜試料との重量差を測定し、単位面積当たりの付着量を求める方法です。このときに、基板材料の密度が既知であれば、密度は重さ/体積の関係から、重さと面積がわかるため、薄膜の膜厚を見積もることができます。
<<前へ
|
構造特性
|
次へ>>