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>> 膜厚測定 >> マイクロメータ試験
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マイクロメータ試験
マイクロメータなどの測微器を使用して、薄膜作製前に基板の厚さを測定しておき、作製後に同一箇所の試料の厚さを測定して、両者の差から膜厚を求めます。
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