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PVD・CVD概論
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電解式試験

 電解式膜厚測定は、定電流電解によって、薄膜の微小な一定領域を溶解し、薄膜が除去される時間が膜厚に比例することを利用して、薄膜の膜厚を求める試験です。
 正確に測るために、十分な校正を行う必要があります。