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PVD・CVD概論
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磁力式試験

 磁力式膜厚測定は、磁性基板上の非磁性薄膜の厚さの違いによって変化する磁石と素地金属との磁気的引力の変化量、または薄膜と基板とを通過する磁束の磁気抵抗を測定し、薄膜の厚さを求める試験です。
 基板が既に磁化されているものには、適用できません。