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研磨用語集（わ行）

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わっくすれすまうんてぃんぐ

ワックスレスマウンティング

　研磨の際の工作物の固定に、ワックスを使用せずプレート面に固着する方法。真空吸着法もこれに該当する。シリコンウエハの片面研磨では、プレートに貼り付けた多孔性のパッド面にウエハを簡便に吸着し、ウエハの外周にリテーナリングを設置する方法が採られる。

　

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