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研磨用語

でんしせんかいせつ

電子線回折

　電子線を照射して得られるBraggの条件を満たす回折像をもとに、表面層や薄膜の構成物質を同定したり、結晶構造を解析する方法。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)