しゅうせいばん(りんぐ)
ラップやポリシングパッドが摩耗により形状精度が低下したとき、擦り合わせて形状修正するための修正板。修正輪形研磨機によるラッピングやポリシングでは、リング状あるいは円板状の修正板を水平回転する下定盤に対向する形に載せ、回転させて使用する。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)