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研磨用語

しりか SiO₂

シリカ

　二酸化珪素。代表的な研磨剤の材料。コロイダルシリカや高純度シリカの形で使用されることが多い。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)