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研磨用語集（ら行）

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りんす

リンス

　一般には純水などによる洗浄を指す。研磨終了時の研磨剤やパーティクルの洗浄、エッチングや化学洗浄時の複数の薬液を使用する場合の薬液の混入・劣化を防ぐための洗浄などがある。容器に純水をオーバーフローさせて浸漬する方法、シャワーによる方法が用いられる。

　

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