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研磨熱

　研磨における工具と工作物の作用で発生した熱を指す。ミクロな領域の加工部はかなりの高温になると言われている。研磨熱によって工作物表面の塑性流動的挙動が促進され、また、化学作用も活発になり、表面の平滑化が進む。超仕上げ、バフ仕上げ、シリコンウエハのメカノケミカルポリシング、さらにはダイヤモンド原石の研磨になると、研磨熱を発生しないと加工量が得られず、鏡面が得にくい。