ころいだるしりか
SiO2またはその水和物のコロイドで、通常、粒子径が10〜300nmで一定の構造を持たないもの。ケイ酸塩に希塩酸を作用させてから透析して得られ、常温ではなかなか沈殿しないゾル状である。Siウエハなどの仕上げポリシング用研磨剤として多用されている。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)