ふろーとぽりしんぐ
螺旋溝をもつ錫定盤の表面をダイヤモンド工具により超精密鏡面切削し、平面工作物がこの定盤の回転に伴い研磨剤で動圧浮上した状態で研磨を行う。この場合、研磨剤層でキャビテーションが発生して研磨剤中の砥粒が工作物をアタックし、加工変質層のない超平滑鏡面が仕上がる非接触研磨法。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)