えす・おー・じー
ウェハのプラナリゼーション手法の一つで、spin coating on glass の略語。シラノール化合物の溶液を絶縁膜上に回転塗布（ spin coating )し、加熱処理してSOG膜と呼はれるSiO2膜を形成する。この膜は、CVDで形成した絶縁膜に残存する微小凹凸に層間絶縁膜として埋め込まれて凹凸を平坦化する。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)
研磨用語
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