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研磨用語

せむ

SEM

　走査型電子顕微鏡　scanning electron microscope　の略語。透過型と反射型があり、一般には後者を指す。前者は試料を透過した電子を検出して画像化するタイプで高分解能を持ち、後者は試料表面からの反射電子を検出するタイプである。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)