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研磨用語集（A-Z行）

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おーえす・えふ

OSF

　①シリコンウエハの表面や内部に生じる結晶欠陥の一つで、酸化により誘起される積層欠陥。ウエハ表面のOSFは表面近傍の残留歪みや汚染など、内部のOSFは過飽和含有酸素の析出物に起因する。
　②ウエハの表面を熱酸化して積層欠陥を誘起し、表面のダメージを評価する方法。

　

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