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研磨用語

える・てぃ・ぶぃー

LTV

　local thickness variation の略語で、電子デバイス用ウエハの平坦度の評価項目の一つ。あるチップサイズ領域において、ウエハ裏面などの基準面から厚み方向に測定した最高高さと最低高さの差で、ウエハごとにチップ数だけLTVの値がある。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)