あい・あーるほう
赤外分光法 infrared spectroscopy の略語。赤外線を照射した試料からの反射光、あるいは加熱した試料からの放射光を分光分析して、表面の化学的な諸情報を得る。表面の単分子層から50nm程度の深さまでの表面分析ができ、気体、液体、固体のいずれにも適用可能である。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)
研磨用語
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