いー・ぴー・えむ・えー
Electron probe microanalysis の略語。電子ビーム照射に伴って放出される特性X線の波長と強度を計測して、試料表層中の元素組成を分析する方法である。走査を行うことにより、全元素の二次元的な分布を求めることが可能である。SEMの能力も兼ね備えている。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)
研磨用語
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