えー・いー・えす
オージェ電子分光分析 Auger electron spectroscopy の略語。オージェ電子は、試料に電子線、イオンビーム、X線などを照射してK殻、L殻等の内殻から電子を放出させた際、外殻の電子が空位の位置に落ち込んで放出する電子である。スペクトル測定により局部の元素分析ができ、深さ1nm程度までの表面分析に利用されている。
独立行政法人 産業技術総合研究所 (知財管理番号 : H15PRO160)
研磨用語
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