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液中ポリシング

　容器中の研磨剤を撹拌した場合、上部に微細砥粒が浮上してくる。その微細砥粒によれば加工変質層深さが小さい高品質研磨を行うことができる。このような考えから、工具のポリシングパッドを微細砥粒が沈降する研磨剤中の上部位置に設定して工作物と擦り合わせる研磨条件を採る。工具回転で研磨液の撹拌が可能であり、液中研磨であるので研磨面に対する緩衝効果、冷却効果も期待できる。