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	波長分散型X線分析(WDS)
	波長分散型X線分析(Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy 略称 WDS)は、測定試料に電子線を照射して、薄膜から放射される特性X線を回折格子(分光結晶)を用いて測定して元素の同定を行う方法です。 　走査型電子顕微鏡(SEM)や透過型電子顕微鏡(TEM)に付属させて使用するので、画像と照らし合わせて元素マッピングを行うことができます。炭素からウランまでの元素の測定が可能で、試料に1%以上の元素濃度があれば、検出することが可能です。
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