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走査型電子顕微鏡測定(Scanning Electron Microscope 略称 SEM)は、電子線を走査させながら試料に照射することで発生する二次電子や反射電子を検出器で取り込むことで、表面の凹凸や立体形状、組成を測定する方法です。二次電子は外殻電子のはじき出しにより、反射電子は入射電子の後方への散乱により信号が発生します。
高分解能を得るためには、電界放出(Field Emission: FE)型の電子銃を用い、加速電圧をできるだけ高くするようにします。また、 生体や含水材料は、低真空での観察が必要で、低真空SEMとして試料室を数十〜数百Paに設定したものを用います。
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