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	電気抵抗率測定(四端子法)
	四端子式の電気抵抗率測定は、４つの電極を有する電極パターンを試料表面に形成し、外側の端子間に電流を流した時に生じる内側端子間の電圧を測定し、理論式から電気抵抗率を求める方法です。 　 電極形成時は、試料表面の酸化や汚れを取り除いた状態で真空中での蒸着などの手法で形成します。また、 電極形成前に試料表面を研磨によりできるだけ平坦にすることで、測定精度が上がります。
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