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電気抵抗率測定(四探針法)

四探針式の電気抵抗率測定は、タングステンなどの針先端を数μmまで細くした4つの探針を試料表面に接触させ、外側の探針間に電流を流した時に生じる内側の探針間電圧を測定し、理論式から電気抵抗率を求める方法です。
 試料表面を研磨によりできるだけ平坦にすることで測定精度が上がります。また、試料の端からの距離が探針間の距離の2倍以上であれば、誤差は数%となります。