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透過率・反射率分光測定
光を波長ごとに分けて、各波長に対する強度を測定する装置を分光光度計といいます。
物質に光を通し、その反射光や透過光を波長によって分解して並べたスペクトルを測定することで、もともとの入射光に対して反射や透過する光の割合を波長ごとに率として表して測定する方法です。基板と薄膜を堆積させた基板の反射率や透過率を調べることにより、試料の屈折率や消衰係数、物理的な膜厚などを理論的に導くことができます。
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