このページはJavaScriptを使用しています。ブラウザのJavaScript機能をオンにしてご覧ください。
PVD・CVDデータベース
TOP
>>
PVD・CVD概論
>>
評価法
>>
構造特性
>> 膜厚測定 >> 顕微鏡断面試験
概論目次へ
顕微鏡断面試験
顕微鏡断面試験は、試料を切断し、その断面を顕微鏡でのぞき、測定目盛で膜厚を測定するものです。
測定箇所を直角に切断し、樹脂に埋め込んで鏡面になるまで研磨し、基板と薄膜の界面を化学的に腐食して明瞭な境界にさせることで、小さいものでも測定することができます。
<<前へ
|
構造特性
|
次へ>>