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PVD・CVD概論
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塩素ガス試験

塩素ガス腐食試験は、腐食性ガス (塩素(Cl)) 雰囲気に試料を晒して、薄膜の耐食性を調べる試験法です。レイティングナンバーを使って腐食の度合いを示したり、表面観察像から腐食の状態を判断したりします。