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PVD・CVD概論
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ばっ気試験

ばっ気試験は、デシケータなどのばっ気装置の中に試料を入れて一定時間ばっ気させて、薄膜の変色状態や、ピンホールなどの腐食状態を観察する腐食試験法です。
  腐食液として、濃硝酸やアセトアミド、濃塩酸、濃アンモニア水などがあります。