膜厚測定

• 顕微鏡断面試験
• 走査型電子顕微鏡(SEM)測定
• 多重光干渉法
• 触針式試験
• マイクロメータ試験
• 重量測定
• 電解式試験
• 磁力式試験
• エネルギー分散型蛍光X線試験(EDXRF)
• 波長分散型蛍光X線試験(WDXRF)
• β線式試験

表･断面観察

• 光学顕微鏡(OM)測定
• 走査型電子顕微鏡(SEM)測定
• 原子間力顕微鏡(AFM)測定
• 走査型トンネル顕微鏡(STM)測定
• 透過型電子顕微鏡(TEM)測定

構造解析

• 2結晶X線回折(XRD)
• 透過型電子顕微鏡(TEM)分析

表面粗さ測定

• 触針式試験
• 原子間力顕微鏡(AFM)試験